深圳会展中心（福田）
2025年8月26日-28日
OHT（自动搬运设备)
华芯（嘉兴）晶圆载具空中驱动搬送车OHT，采用IPT(Inductive Power Transfer)非接触式供电体系，可实现点对点跨Inter/Intra 传送功能；符合SEMI标准，兼容8/12 inch料盒。
2-dimensional bar code defined position
RFID reader in option for inventory check
E84 & EAP communication by configurable
其他设备
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